近日，抚顺特殊钢股份有限公司（简称：抚顺特钢）与中国科学院金属研究所联合宣布，双方历时5年合作研发的半导体领域用316LWV超高纯不锈钢已实现批量生产及定制化供货。该材料此前长期依赖进口，西方供应商曾对其实施限供或断供。目前抚顺特钢已为国内10余家半导体设备企业提供棒材、方材、扁材、异型材等多形态产品，并可根据客户需求定制生产。
316LWV超高纯不锈钢因其极低的杂质含量和耐腐蚀性，广泛应用于半导体装备制造及电子特气输送领域。该材料对点蚀温度、放气率等指标要求严苛。2021年抚顺特钢组建科研团队启动自主研发，前期10余炉小炉型试验结果未达国外同类产品水平。2023年在辽宁省工信厅推动下，抚顺特钢与中科院金属所达成合作，2024年3月签订技术许可合同，同年5月成功研制出性能达标的316LWV产品，双真空工艺达到6吨级，具备批量生产能力。
据抚顺特钢介绍，该产品纯净度及耐腐蚀性较进口同类产品提升10%以上，每吨售价降低3万至5万元，交货周期缩短3个月以上。目前，抚顺特钢拥有7000吨、3500吨快锻机及2200吨精锻机等锻造装备，已形成覆盖冶炼、锻造、轧制、冷拔及热处理的全流程生产能力。
